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產(chǎn)品名稱:芯明天放大機(jī)構(gòu)式壓電納米定位臺

產(chǎn)品型號:P11

產(chǎn)品報價:

產(chǎn)品特點:芯明天放大機(jī)構(gòu)式壓電納米定位臺 一維壓電納米定位臺是以壓電陶瓷做為基礎(chǔ)元件驅(qū)動的壓電平移臺,X 軸,XY 軸,XYZ 軸多維壓電平移臺,驅(qū)動形式包含壓電陶瓷直驅(qū)式以及機(jī)機(jī)構(gòu)放大式兩種驅(qū)動形式。相同驅(qū)動電壓下,機(jī)構(gòu)放大平臺的位移是直驅(qū)平臺位移的幾倍至幾十倍

更新日期:2025-02-23

P11芯明天放大機(jī)構(gòu)式壓電納米定位臺的詳細(xì)資料:

1.芯明天放大機(jī)構(gòu)式壓電納米定位臺

壓電納米定位臺是以壓電陶瓷做為基礎(chǔ)元件驅(qū)動的壓電平移臺,X 軸,XY 軸,XYZ 軸多維壓電平移臺,驅(qū)動形式包含壓電陶瓷直驅(qū)式以及機(jī)機(jī)構(gòu)放大式兩種驅(qū)動形式。相同驅(qū)動電壓下,機(jī)構(gòu)放大平臺的位移是直驅(qū)平臺位移的幾倍至幾十倍;直驅(qū)平臺的響應(yīng)速度要比機(jī)構(gòu)放大平臺的速度快。壓電平移臺的運動行程范圍zui大可達(dá) 300μm,且它具有納米級分辨率以及毫秒級的響應(yīng)時間。在精密定位領(lǐng)域中發(fā)揮著至關(guān)重要的作用,且應(yīng)用非常廣泛,例如顯微掃描、光路調(diào)整、納米操控技術(shù)、CCD 圖像處理、激光干涉、納米光刻、生物科技、光通信、納米測量、顯微操作、納米壓印等。

 

2.芯明天放大機(jī)構(gòu)式壓電納米定位臺p11’

P11系列壓電納米定位臺為小體積1~3維壓電平移臺,P11.Z為一維壓電納米定位臺,平臺內(nèi)部采用無摩擦柔性鉸鏈導(dǎo)向機(jī)構(gòu),一體的結(jié)構(gòu)設(shè)計,多維運動無耦合。 機(jī)構(gòu)放大式驅(qū)動原理,內(nèi)置高性能壓電陶瓷,可實現(xiàn)110μm位移。閉環(huán)版本定位精度可達(dá)納米級。采用有限元仿真分析優(yōu)化柔性鉸鏈結(jié)構(gòu),柔性導(dǎo)向系統(tǒng)具有超高的導(dǎo)向精度,具有高剛性、高負(fù)載、無摩擦、免維護(hù)等特點。壓電定位臺具有良好的控制精度,分辨率和穩(wěn)定 性可以達(dá)到納米量級,定位穩(wěn)定時間僅為毫秒量級,壓電定位臺為無磁材質(zhì),使用過程中不受磁場的影響,壓電定位臺體積小、結(jié)構(gòu)緊湊 易于集成。

 

 3.一維壓電納米定位臺特性

• 一維Z軸運動                   • zui大行程110μm,可選擇210μm、320μm版本                  

 • 體積小巧                       • 毫秒級響應(yīng)時間                   •  納米級定位精度

 

外觀形狀

產(chǎn)品運動示意圖

放大機(jī)構(gòu)式驅(qū)動示意圖

 

大行程、閉環(huán)版本定位精度高、響應(yīng)速度快

 P11系列納米定位臺采用機(jī)構(gòu)放大設(shè)計原理,內(nèi)置高可靠性壓電陶瓷作為驅(qū)動源,可以實現(xiàn)1~3維110μm的精密運動。

該系列壓電納米定位臺可以選擇開環(huán)或閉環(huán)版本, 閉環(huán)版本采用高精度傳感器對位置進(jìn)行實時檢測反饋,配置芯明天E00/E01、E72/E73、E52/E53等系列閉環(huán)壓電控制器可以實時對位移進(jìn)行精密調(diào)整,實現(xiàn)納米級的精密定位控制。

P11系列壓電納米定位臺的響應(yīng)速度非常快,配套E52系列壓電控制器可實現(xiàn)0.8ms的階躍時間。

 

原子力探針掃描顯微鏡

      應(yīng)用

      • 光纖定位/光學(xué)掃描     • 納米壓印     • 納米計量     •微操控       • 納米定位

      • 干涉法/ 掃描顯微/納米定位     •生物技術(shù)/半導(dǎo)體技術(shù)     •質(zhì)量保證測試

      • 微加工/精密控制

 

 

 

 

 

 

 
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