產(chǎn)品名稱(chēng):芯明天三維θxθyZ向壓電偏擺臺(tái)
產(chǎn)品型號(hào):P51系列
產(chǎn)品特點(diǎn):芯明天三維θxθyZ向壓電偏擺臺(tái) 三維θxθyZ向壓電偏擺臺(tái)P51系列是中心通孔三維θxθyZ軸壓電偏擺臺(tái),采用無(wú)摩擦柔性鉸鏈結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì),響應(yīng)速度快、閉環(huán)定位精度高,80×80mm中心大通孔方便集成于顯微及掃描等光學(xué)系統(tǒng)中。
更新日期:2021-03-23
芯明天三維θxθyZ向壓電偏擺臺(tái)特性:
• ±1.1mrad/軸的θx, θy偏擺運(yùn)動(dòng)及Z向110μm直線運(yùn)動(dòng) • 閉環(huán)定位精度高
• 80×80mm大通光孔 • 分辨率高 • 外形超薄 • 響應(yīng)速度快
芯明天三維θxθyZ向壓電偏擺臺(tái)外觀形狀
外觀形狀 | 產(chǎn)品運(yùn)動(dòng)示意圖 | 閉環(huán)曲線 |
閉環(huán)傳感精度高 | 頻率負(fù)載曲線 | 仿真分析 | |
P51系列壓電偏轉(zhuǎn)臺(tái)為θx,θy軸偏擺Z軸升降臺(tái),偏轉(zhuǎn)行程為±1.1mrad,Z軸直線行程可達(dá)110μm。 P51偏轉(zhuǎn)臺(tái)臺(tái)體采用無(wú)回差柔性鉸鏈導(dǎo)向結(jié)構(gòu),采用有限元分析進(jìn)行優(yōu)化,具有超高的剛度以及導(dǎo)向精度。 可選擇內(nèi)置精密傳感器進(jìn)行全閉環(huán)位置反饋,確保其具有良好的運(yùn)動(dòng)控制精度,直線運(yùn)動(dòng)分辨率可達(dá)到亞納米級(jí)、偏轉(zhuǎn)分辨率達(dá)亞微弧度、定位穩(wěn)定時(shí)間為毫秒量級(jí)。 | 通過(guò)有限元FEA優(yōu)化的鉸鏈用于導(dǎo)向機(jī)構(gòu)偏轉(zhuǎn)臺(tái)。有限元分析技術(shù)用于設(shè)計(jì)運(yùn)動(dòng)方向上zui高的剛度,并減少角度偏差。鉸鏈部分允許*精度的運(yùn)動(dòng),因?yàn)殂q鏈機(jī)構(gòu)無(wú)間隙、無(wú)摩擦。 |
超薄的設(shè)計(jì)適用于顯微應(yīng)用且可負(fù)載大鏡片 | 產(chǎn)品測(cè)試 |
|
P51壓電偏轉(zhuǎn)臺(tái)中心大通光孔達(dá)80×80mm,非常適用于需要透射光的應(yīng)用,負(fù)載后仍可高動(dòng)態(tài)高精度的掃描。 P51系列偏擺/傾斜、升降臺(tái)是專(zhuān)門(mén)為對(duì)準(zhǔn)、納米聚焦、計(jì)量等應(yīng)用設(shè)計(jì)的,臺(tái)體非常薄,厚度僅為20mm,非常易于集成到高精度顯微鏡中。 | ||
校準(zhǔn)調(diào)測(cè) | 震動(dòng)實(shí)驗(yàn) |
3.三維θxθyZ向壓電偏擺臺(tái)
驅(qū)動(dòng)方式
P51壓電偏轉(zhuǎn)臺(tái)θxθy兩軸采用90。相差輸入,并配合Z軸升降運(yùn)動(dòng),再通過(guò)控制電壓的大小,對(duì)于固定的光路距離,可進(jìn)行一定范圍的錐形范圍掃描,如下右圖所示。
應(yīng)用
• 光束掃描 • 激光合束對(duì)準(zhǔn)與激光致盲 • 干涉/計(jì)量 • 空間擾動(dòng)模擬系統(tǒng) • 光路調(diào)整 • 掩模與晶片位置調(diào)整 • 光學(xué)顯微成像 • SPM掃描顯微鏡 • 掩模/晶圓定位 • 生物技術(shù) • 表面結(jié)構(gòu)分析
相關(guān)同類(lèi)產(chǎn)品: |
17051647888
地址:黑龍江省哈爾濱市南崗區(qū)學(xué)府路191號(hào)創(chuàng)業(yè)孵化產(chǎn)業(yè)園I2棟1層哈爾濱芯明天科技有限公司專(zhuān)業(yè)提供P51系列芯明天三維θxθyZ向壓電偏擺臺(tái)等產(chǎn)品信息,歡迎來(lái)電咨詢(xún)!
哈爾濱芯明天科技有限公司 版權(quán)所有 ICP備案號(hào):黑ICP備16009173號(hào)-2 管理登陸 技術(shù)支持:儀表網(wǎng) 網(wǎng)站地圖