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產(chǎn)品名稱(chēng):芯明天三維θxθyZ向壓電偏擺臺(tái)

產(chǎn)品型號(hào):P51系列

產(chǎn)品報(bào)價(jià):

產(chǎn)品特點(diǎn):芯明天三維θxθyZ向壓電偏擺臺(tái) 三維θxθyZ向壓電偏擺臺(tái)P51系列是中心通孔三維θxθyZ軸壓電偏擺臺(tái),采用無(wú)摩擦柔性鉸鏈結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì),響應(yīng)速度快、閉環(huán)定位精度高,80×80mm中心大通孔方便集成于顯微及掃描等光學(xué)系統(tǒng)中。

更新日期:2021-03-23

P51系列芯明天三維θxθyZ向壓電偏擺臺(tái)的詳細(xì)資料:

芯明天三維θxθyZ向壓電偏擺臺(tái)特性:

 • ±1.1mrad/軸的θx, θy偏擺運(yùn)動(dòng)及Z向110μm直線運(yùn)動(dòng)                 • 閉環(huán)定位精度高                    

 • 80×80mm大通光孔                    • 分辨率高                 • 外形超薄                    • 響應(yīng)速度快

 

芯明天三維θxθyZ向壓電偏擺臺(tái)外觀形狀

外觀形狀  

   產(chǎn)品運(yùn)動(dòng)示意圖  

  閉環(huán)曲線  

 

  閉環(huán)傳感精度高  

   頻率負(fù)載曲線  

   仿真分析  

P51系列壓電偏轉(zhuǎn)臺(tái)為θx,θy軸偏擺Z軸升降臺(tái),偏轉(zhuǎn)行程為±1.1mrad,Z軸直線行程可達(dá)110μm。

P51偏轉(zhuǎn)臺(tái)臺(tái)體采用無(wú)回差柔性鉸鏈導(dǎo)向結(jié)構(gòu),采用有限元分析進(jìn)行優(yōu)化,具有超高的剛度以及導(dǎo)向精度。

可選擇內(nèi)置精密傳感器進(jìn)行全閉環(huán)位置反饋,確保其具有良好的運(yùn)動(dòng)控制精度,直線運(yùn)動(dòng)分辨率可達(dá)到亞納米級(jí)、偏轉(zhuǎn)分辨率達(dá)亞微弧度、定位穩(wěn)定時(shí)間為毫秒量級(jí)。

通過(guò)有限元FEA優(yōu)化的鉸鏈用于導(dǎo)向機(jī)構(gòu)偏轉(zhuǎn)臺(tái)。有限元分析技術(shù)用于設(shè)計(jì)運(yùn)動(dòng)方向上zui高的剛度,并減少角度偏差。鉸鏈部分允許*精度的運(yùn)動(dòng),因?yàn)殂q鏈機(jī)構(gòu)無(wú)間隙、無(wú)摩擦。

 

  超薄的設(shè)計(jì)適用于顯微應(yīng)用且可負(fù)載大鏡片  

  產(chǎn)品測(cè)試  

 

P51壓電偏轉(zhuǎn)臺(tái)中心大通光孔達(dá)80×80mm,非常適用于需要透射光的應(yīng)用,負(fù)載后仍可高動(dòng)態(tài)高精度的掃描。

P51系列偏擺/傾斜、升降臺(tái)是專(zhuān)門(mén)為對(duì)準(zhǔn)、納米聚焦、計(jì)量等應(yīng)用設(shè)計(jì)的,臺(tái)體非常薄,厚度僅為20mm,非常易于集成到高精度顯微鏡中。

校準(zhǔn)調(diào)測(cè)

震動(dòng)實(shí)驗(yàn)

 

3.三維θxθyZ向壓電偏擺臺(tái)

驅(qū)動(dòng)方式  

P51壓電偏轉(zhuǎn)臺(tái)θxθy兩軸采用90。相差輸入,并配合Z軸升降運(yùn)動(dòng),再通過(guò)控制電壓的大小,對(duì)于固定的光路距離,可進(jìn)行一定范圍的錐形范圍掃描,如下右圖所示。

 

  應(yīng)用  

       • 光束掃描  • 激光合束對(duì)準(zhǔn)與激光致盲   • 干涉/計(jì)量  • 空間擾動(dòng)模擬系統(tǒng)  • 光路調(diào)整  • 掩模與晶片位置調(diào)整  • 光學(xué)顯微成像 • SPM掃描顯微鏡  • 掩模/晶圓定位  • 生物技術(shù)  • 表面結(jié)構(gòu)分析

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