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產(chǎn)品名稱:S51壓電偏擺/旋轉(zhuǎn)臺(tái)

產(chǎn)品型號(hào):

產(chǎn)品報(bào)價(jià):

產(chǎn)品特點(diǎn):S51壓電偏擺/旋轉(zhuǎn)臺(tái)是中心通孔三維θxθyZ軸壓電偏擺臺(tái),采用無(wú)摩擦柔性鉸鏈結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì),響應(yīng)速度快、閉環(huán)定位精度高,80×80mm中心大通 孔方便集成于顯微及掃描等光學(xué)系統(tǒng)中。

更新日期:2021-10-15

S51壓電偏擺/旋轉(zhuǎn)臺(tái)的詳細(xì)資料:

S51壓電偏擺/旋轉(zhuǎn)臺(tái)是中心通孔三維θxθyZ軸壓電偏擺臺(tái),采用無(wú)摩擦柔性鉸鏈結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì),響應(yīng)速度快、閉環(huán)定位精度高,80×80mm中心大通 孔方便集成于顯微及掃描等光學(xué)系統(tǒng)中。

特性:

 θx, θy 偏擺運(yùn)動(dòng),Z向升降 閉環(huán)定位精度高 響應(yīng)速度快 透光孔:80×80mm

典型應(yīng)用

• 掃描顯微 • 激光合束對(duì)準(zhǔn)與激光致盲

• 干涉/計(jì)量 • 空間擾動(dòng)模擬系統(tǒng)

• 生物技術(shù) • 掩模與晶片位置調(diào)整

仿真分析

通過(guò)有限元FEA優(yōu)化的鉸鏈用于導(dǎo)向機(jī)構(gòu)偏轉(zhuǎn)臺(tái)。有限元分析技術(shù)用于設(shè)計(jì)運(yùn)動(dòng)方向上的剛度,并減少角度偏差。鉸鏈部分允許 *精度的運(yùn)動(dòng),因?yàn)殂q鏈機(jī)構(gòu)無(wú)間隙、無(wú)摩擦。

超高導(dǎo)向精度、分辨率高、閉環(huán)傳感精度高

S51系列壓電偏轉(zhuǎn)臺(tái)為θx,θy軸偏擺Z軸升降臺(tái),偏轉(zhuǎn) 行程為±1.1mrad,Z軸直線行程可達(dá)110μm。P51偏轉(zhuǎn)臺(tái)臺(tái)體采用無(wú)回差柔性鉸鏈導(dǎo)向結(jié)構(gòu),采用 有限元分析進(jìn)行優(yōu)化,具有超高的剛度以及導(dǎo)向精度??蛇x擇內(nèi)置精密傳感器進(jìn)行全閉環(huán)位置反饋,確保其 具有的運(yùn)動(dòng)控制精度,直線運(yùn)動(dòng)分辨率可達(dá)到亞納米 級(jí)、偏轉(zhuǎn)分辨率達(dá)亞微弧度、定位穩(wěn)定時(shí)間為毫秒量級(jí)。  

超薄的設(shè)計(jì)適用于顯微應(yīng)用

S51系列偏擺/傾斜、升降臺(tái)是專門為對(duì)準(zhǔn)、納米聚焦、計(jì)量等應(yīng) 用設(shè)計(jì)的,臺(tái)體非常薄,厚度僅為20mm,非常易于集成到高精度顯 微鏡中。

S51壓電偏擺/旋轉(zhuǎn)臺(tái)技術(shù)參數(shù):


型號(hào)

尾綴S-閉環(huán) 尾綴K-開環(huán)

S51.ZT1S 

S51.ZT1K


單位

運(yùn)動(dòng)自由度

θx, θy, Z


標(biāo)稱直線行程范圍(0~+120V)

80

μm±20%

大直線行程范圍(-20~+150V)

110

μm±20%

標(biāo)稱偏擺角度 (0~+120V)

±0.9/

mrad±20%

大偏擺角度 (-20~+150V)

±1.1/

mrad±20%

傳感器類型

SGS/-


閉/開環(huán)Z向位移分辨率

7/4

nm

閉/開環(huán)θx, θy偏擺分辨率

0.25/0.05

μrad

閉環(huán)線性度

0.1/-

%F.S.

閉環(huán)重復(fù)定位精度

0.05/-

%F.S.

推/拉力

120/15

N

運(yùn)動(dòng)方向剛度(Z向)

1.5

N/μm±20%

空載諧振頻率

230

Hz±20%

閉/開環(huán)空載階躍時(shí)間

30/4.5

ms±20%


閉環(huán)空載 工作頻率

10%行程

50


Hz±20%

行程

15

大承載

1

kg

靜電容量

3.6/

μF±20%

材質(zhì)

鋁、鋼


重量

820

g±5%

以上參數(shù)是采用E00系列壓電控制器測(cè)得。


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