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產(chǎn)品名稱:P32三維θxθyZ向壓電偏轉(zhuǎn)鏡 6mrad 37.5μm

產(chǎn)品型號:

產(chǎn)品報價:

產(chǎn)品特點:P32三維θxθyZ向壓電偏轉(zhuǎn)鏡 6mrad 37.5μm
壓電偏轉(zhuǎn)鏡是以壓電陶瓷作為驅(qū)動元件,內(nèi)部采用無回差柔性鉸鏈并聯(lián)導(dǎo)向結(jié)構(gòu)設(shè)計,外部機械結(jié)構(gòu)通過內(nèi)部多支壓電陶瓷的伸縮來實現(xiàn)單軸或多軸角度偏轉(zhuǎn)運動,補償量小,偏轉(zhuǎn)鏡具有較好的運動精度和高穩(wěn)定性,通過內(nèi)置高精度傳感器進行閉環(huán)控制,實現(xiàn)亞微弧度分辨率及微弧度定位精度。

更新日期:2022-11-17

P32三維θxθyZ向壓電偏轉(zhuǎn)鏡 6mrad 37.5μm的詳細資料:

P32三維θxθyZ向壓電偏轉(zhuǎn)鏡 6mrad 37.5μm壓電偏轉(zhuǎn)鏡是以壓電陶瓷作為驅(qū)動元件,內(nèi)部采用無回差柔性鉸鏈并聯(lián)導(dǎo)向結(jié)構(gòu)設(shè)計,外部機械結(jié)構(gòu)通過內(nèi)部多支壓電陶瓷的伸縮來實現(xiàn)單軸或多軸角度偏轉(zhuǎn)運動,補償量小,偏轉(zhuǎn)鏡具有較好的運動精度和高穩(wěn)定性,通過內(nèi)置高精度傳感器進行閉環(huán)控制,實現(xiàn)亞微弧度分辨率及微弧度定位精度。

P32系列Z向/俯仰/偏轉(zhuǎn)鏡提供兩軸的高速精密偏轉(zhuǎn)運動及Z軸直線升降運動,直線運動的分辨率可達亞納米級、偏轉(zhuǎn)分辨率達亞微弧度,響應(yīng)時間可達毫秒量級。P32系列壓電偏轉(zhuǎn)鏡體積小巧、結(jié)構(gòu)緊湊,可實現(xiàn)6mrad偏轉(zhuǎn),Z軸37.5μm的直線運動。

 

特性 P32三維θxθyZ向壓電偏轉(zhuǎn)鏡 6mrad 37.5μm

• θx,θy二維偏轉(zhuǎn)及Z向升降運動,偏轉(zhuǎn)角度25mrad,直線位移37.5μm        • 閉環(huán)定位精度高         • 分辨率高        • 溫度穩(wěn)定性高         • 亞毫秒響應(yīng)時間

 

高分辨率、高穩(wěn)定性及動態(tài)性

結(jié)構(gòu)原理

 

P32壓電偏轉(zhuǎn)鏡體積緊湊,內(nèi)部裝配帶有預(yù)緊的高可靠性壓電促動器,集成在復(fù)雜的、FEA建模分析的柔性鉸鏈導(dǎo)向系統(tǒng)。壓電促動器是疊堆共燒型壓電陶瓷,比傳統(tǒng)的壓電促動器提供好的性能及可靠性。

P32壓電偏轉(zhuǎn)鏡采用基于平行運動學(xué)的壓電陶瓷直驅(qū)式三腳架結(jié)構(gòu),數(shù)十億次的運動周期操作而*或性能下降,非常適合工業(yè)應(yīng)用。

三腳架結(jié)構(gòu)設(shè)計在較大的溫度范圍內(nèi)提供優(yōu)化的角度穩(wěn)定性。這種設(shè)計具有體積小巧、兩軸具有相同的大小及動態(tài)性能、快的響應(yīng)速度及好的線性度等優(yōu)勢,也防止了偏振旋轉(zhuǎn)。

P32偏轉(zhuǎn)鏡是基于3個壓電陶瓷機構(gòu)設(shè)計而成的,由三支壓電陶瓷驅(qū)動,以120°角平分放置,采用坐標(biāo)變換,運動可以分不同機構(gòu)之間控制。這種結(jié)構(gòu)設(shè)計除了可實現(xiàn)平臺的傾斜,也可實現(xiàn)平臺Z向的直線移動,可以用于校正光學(xué)路徑長度。其中, A、B、C表示測量的3點處位移量,兩軸擺角及Z向位移的簡便計算公式分別如下,

 

驅(qū)動控制

P32壓電偏轉(zhuǎn)臺θxθy兩軸采用90。相差輸入,與Z向升降運動配合,再通過控制電壓的大小,對一定的光路距離,可進行一定范圍的錐形范圍掃描,如下右圖所示。

 

 
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