壓電物鏡掃描器是專門為聚焦顯微而設(shè)計(jì)的
壓電物鏡掃描器為小體積大行程壓電物鏡掃描器，內(nèi)置高性能壓電陶瓷，閉環(huán)精度高，響應(yīng)速度快、滿行程線性度達(dá)納米量級(jí)，可進(jìn)行激光聚焦，已廣泛應(yīng)用與晶圓切割、半導(dǎo)體及微電子加工領(lǐng)域。
壓電物鏡掃描器是專門為聚焦顯微而設(shè)計(jì)的，采用無回差柔性鉸鏈并聯(lián)導(dǎo)向結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，物鏡補(bǔ)償量小，具有超高聚焦穩(wěn)定性，物鏡掃描器裝入顯微檢測(cè)/測(cè)量或者觀測(cè)裝置可以帶動(dòng)鏡片聚焦提高精度，可與多種高分辨率的顯微鏡配合使用。
P73壓電物鏡定位器是大行程、高速、壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)的聚焦顯微掃描裝置，產(chǎn)品體積小但可實(shí)現(xiàn)的位移高達(dá)550μm。
P73采用柔性鉸鏈導(dǎo)向機(jī)構(gòu)，無機(jī)械摩擦、無機(jī)械間隙、納米級(jí)分辨率，具有超高的定位精度及超快的響應(yīng)速度。
該系列壓電物鏡定位器具有大剛度、諧振頻率高等特點(diǎn)，可以實(shí)現(xiàn)滿行程20ms的階躍時(shí)間，負(fù)載150g后階躍時(shí)間小于30ms且重復(fù)度達(dá)滿行程的0.05%F.S.。
哈爾濱芯明天科技有限公司產(chǎn)品已廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體技術(shù)、光電子、通信與集成光學(xué)、光學(xué)儀器設(shè)備、醫(yī)療生物顯微設(shè)備、生命科學(xué)、精密加工設(shè)備、新設(shè)計(jì)與醫(yī)療技術(shù)、數(shù)據(jù)存儲(chǔ)技術(shù)、納米技術(shù)、納米制造與納米自動(dòng)化、航空航天、圖像處理等領(lǐng)域。芯明天正在為中國的工業(yè)自動(dòng)化、國防、航天事業(yè)的發(fā)展貢獻(xiàn)著自己的力量。
P72為小體積大行程的壓電物鏡掃描器，內(nèi)置高性能壓電陶瓷，閉環(huán)精度高，響應(yīng)速度快、滿行程線性度達(dá)納米量級(jí)，可進(jìn)行激光聚焦，已廣泛應(yīng)用與晶圓切割、半導(dǎo)體及微電子加工領(lǐng)域。
