壓電平臺是采用壓電陶瓷驅(qū)動的納米定位臺,無摩擦、無空回柔性導(dǎo)向機構(gòu),有限元分析優(yōu)化柔性鉸鏈機構(gòu),柔性導(dǎo)向系統(tǒng)具有超高的導(dǎo)向精度,高剛度,高負載,無磨損,免維護的特點,內(nèi)置精密位移傳感器進行全閉環(huán)反饋,確保了平臺具有良好的控制精度、定位精度、分辨率和穩(wěn)定性,響應(yīng)速度快,穩(wěn)定時間達毫秒量級,平臺無磁性也不受磁場干擾。XP-630,采用壓電陶瓷直驅(qū)結(jié)構(gòu),無摩擦柔性鉸鏈機構(gòu)設(shè)計的一維壓
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