壓電傾斜鏡的內(nèi)部是由壓電陶瓷疊堆驅(qū)動(dòng)，它可以產(chǎn)生θx、θy兩個(gè)方向的同時(shí)偏轉(zhuǎn)，一般可達(dá)的偏轉(zhuǎn)行程為2°左右，同時(shí)也可產(chǎn)生Z向的升降運(yùn)動(dòng)，升降的位移一般為幾百微米。
壓電傾斜鏡的特點(diǎn)是偏轉(zhuǎn)精度高，可達(dá)納弧度量級(jí)；響應(yīng)速度快，可達(dá)毫秒量級(jí)；體積小巧，易集成；性能不受磁、輻射等影響；可在超低溫下使用，且可表現(xiàn)優(yōu)秀的產(chǎn)品性能等。
由于壓電傾斜鏡的機(jī)械諧振會(huì)降低自適應(yīng)光學(xué)伺服控制系統(tǒng)的校正帶寬﹐特研究補(bǔ)償壓電傾斜鏡諧振特性的方法。根據(jù)壓電傾斜鏡機(jī)械諧振頻率特性的動(dòng)態(tài)模型和實(shí)測數(shù)據(jù)，握出了利用壓電傾斜鏡高壓驅(qū)動(dòng)器中現(xiàn)有的可編程邏輯門陣列(FPGA)設(shè)計(jì)多階雙二次型數(shù)字濾波器來優(yōu)化系統(tǒng)的動(dòng)態(tài)頻率響應(yīng)特性?；诙嚯A雙二次型數(shù)字濾波器，高壓驅(qū)動(dòng)器能實(shí)時(shí)補(bǔ)償驅(qū)動(dòng)對象的頻率特性，完成壓電傾斜鏡的正諧振和反諧振的同時(shí)補(bǔ)償。將其與壓電傾斜鏡作為一體，可實(shí)現(xiàn)平坦的幅頻特性，從而避免機(jī)械諧振，提高伺服控制帶寬。
相關(guān)實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明：相對于傳統(tǒng)的高帶寬高壓驅(qū)動(dòng)器，提出的具有頻率特性補(bǔ)償功能的高帶寬高壓驅(qū)動(dòng)器可在同樣超調(diào)量下使系統(tǒng)誤差帶寬從56 Hz提高到了80 Hz，并且低頻抑制能力也得到提高。具有頻率特性補(bǔ)償功能的高帶寬高壓驅(qū)動(dòng)器更適合壓電傾斜鏡的高速動(dòng)態(tài)應(yīng)用。
